無(wú)塵潔淨室空氣(qì)潔淨度(dù)測試及方(fāng)法(fǎ)
一(yī)
、潔淨室的空氣(qì)潔淨度(dù)
，應(yīng)進(jìn)行下列測試：
(一(yī))空態、靜(jìng)態測試
空態測試：潔淨室已(yǐ)竣工
，淨化空氣(qì)調節系統(tǒng)已(yǐ)處於正常運行狀態
，室內(nèi)沒有工藝設備(bèi)和生產人員的情況下邊行測試。
靜(jìng)態測試
：潔淨室淨化空氣(qì)調節系統(tǒng)已(yǐ)處於正常運行狀態
，工藝設備(bèi)已(yǐ)安裝
，室內(nèi)沒有生產人員的情況下進(jìn)行測試。
(二)動(dòng)態測試潔淨室已(yǐ)處於正常生產狀態下進(jìn)行測試
。
潔淨室的風(fēng)量
、風(fēng)速
、正壓
、溫度(dù)
、濕度(dù)
、噪聲的檢(jiǎn)測
，可按(àn)一(yī)般通用
、空氣(qì)調節的有關規(guī)定(dìng)執行
。
三、空態、靜(jìng)態測試
(一(yī))測試前的准(zhǔn)備(bèi)
1
、應(yīng)對潔淨室及其(qí)淨化空氣(qì)調節系統(tǒng)進(jìn)行徹底清(qīng)潔
。
2
、採用光散射粒子計(jì)數器對高效空氣(qì)過濾(lǜ)器進(jìn)行檢(jiǎn)漏測試
。首先測定(dìng)高效空氣(qì)過濾(lǜ)器的上風(fēng)側靜(jìng)壓箱(xiāng)內(nèi)(或風(fēng)管內(nèi))粒徑大於或等於0.5微米的塵粒數應(yīng)為大於或等於30，000粒/升(shēng)
。如若不夠
，可引入煙霧，然(rán)後開(kāi)始檢(jiǎn)漏
。將粒子計(jì)數器(或檢(jiǎn)漏裝置)的採樣口距離高效空氣(qì)過濾(lǜ)器2--3釐米處，可以2～4釐米/秒的速度(dù)移(yí)動(dòng)
，對高效空氣(qì)過濾(lǜ)器整個斷(duàn)面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描
。
當粒子計(jì)數器讀數為空氣(qì)口大於或等於0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(shēng)(或其(qí)穿透率大於0.01‰)即認為該(gāi)處有明(míng)顯滲漏
，必須進(jìn)行堵漏
。
(二)測試內(nèi)容(róng)
1
、總送(sòng)風(fēng)量
、總回風(fēng)量
、新(xīn)鮮空氣(qì)量
、排風(fēng)量等;
2、潔淨室壓力值;
3、層流潔淨室斷(duàn)面風(fēng)速和氣(qì)流流向;
4
、潔淨工作區的潔淨度(dù);
5、室內(nèi)溫度(dù)、濕度(dù)及其(qí)控(kòng)制能力的調整測試;
6
、潔淨室內(nèi)噪聲
。
(三)潔淨工作區空氣(qì)潔淨度(dù)的測試方(fāng)法(fǎ)對於粒徑大於或等於0.5微米的塵粒計(jì)數，宜採用光散射粒子計(jì)數法(fǎ)
。對於粒徑大於或等於5微米的塵粒計(jì)數
。也可採用濾(lǜ)膜顯微鏡計(jì)數法(fǎ)
。光散射粒子計(jì)數法(fǎ)：
1、光散射粒子計(jì)數器採樣量100級：每次採樣量大於或等於1升(shēng)。l，000級-l0
，000級：每次採樣量大於或等於0.3升(shēng)。100
，000級：每次採樣量大於或等於0.1升(shēng)。對於100級潔淨室，宜採用大流量粒子計(jì)數器進(jìn)行測試;如果條件不具(jù)備(bèi)時，可採用每次採樣量不小於1升(shēng)的粒子計(jì)數器。
2
、採樣注意事項：
(1)採樣管必須乾淨
，連接處嚴禁滲漏。
(2)採樣管的長度(dù)，應(yīng)根據儀器的允許長度(dù)
。當無(wú)規(guī)定(dìng)時
，不宜大於1.5米
。
(3)採樣管口的流速
，宜與潔淨室斷(duàn)面平均風(fēng)速相接近
。測試人員應(yīng)在(zài)採樣口的下風(fēng)側。
(4)採樣順序應(yīng)按(àn)含塵濃(nóng)度(dù)從低到高進(jìn)行
。
3
、測點佈置
(l)檢(jiǎn)測在(zài)潔淨工作區內(nèi)進(jìn)行。當生產工藝無(wú)特(tè)殊要求時，取樣高度(dù)宜為離地面1米
(2)層流潔淨室測點總數不小於20點
，測點間(jiān)距為0.5～2.0米，粒徑大於或等於0.5微米的塵粒數允許有一(yī)個點超過
。水平層流潔淨室測點僅佈置在(zài)潔淨工作區內(nèi)
。
(3)亂流潔淨室可按(àn)潔淨面積小於或等於50平方(fāng)米佈置5個測點(附圖2)。每增加20-50平方(fāng)米，增加3--5個測點。
4
、數據整理
(1)每個測點的數據整理應(yīng)在(zài)測試儀器穩定(dìng)運行的條件下連續三次採樣，取其(qí)平均值
，即為該(gāi)點的實測數值。無(wú)塵布
(2)對於大於或等於0.5微米的塵粒數確定(dìng)：亂流潔淨室取各(gè)測點的平均值。
(四)正壓值測定(dìng)應(yīng)採用精度(dù)可達0.01毫米水柱的微壓計(jì)
。
四、動(dòng)態測試
。在(zài)潔淨工作區操作位(wèi)置選擇有代表性測點的氣(qì)流上風(fēng)向進(jìn)行
，測試方(fāng)法(fǎ)同空態、靜(jìng)態測試
。
